多重嵌套悬臂梁结构磁致动微机械偏转器

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多重嵌套悬臂梁结构磁致动微机械偏转器

论文 | 更新时间：2025-07-02

- 多重嵌套悬臂梁结构磁致动微机械偏转器
- Megnetically Actuated Micromachined Deflector with Structure of Multiple Nested Cantilevers
- 电子学报 2000年28卷第2期页码：122-123
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多重嵌套悬臂梁结构磁致动微机械偏转器[J]. 电子学报, 2000,28(2):122-123.

Megnetically Actuated Micromachined Deflector with Structure of Multiple Nested Cantilevers[J]. Acta Electronica Sinica, 2000, 28(2): 122-123.
多重嵌套悬臂梁结构磁致动微机械偏转器[J]. 电子学报, 2000,28(2):122-123. DOI：

Megnetically Actuated Micromachined Deflector with Structure of Multiple Nested Cantilevers[J]. Acta Electronica Sinica, 2000, 28(2): 122-123. DOI：

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