用于谐振式传感器的微型双层薄板热挠曲的研究

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论文 | 更新时间：2025-07-02

- 用于谐振式传感器的微型双层薄板热挠曲的研究
- A Study of Thermal Buckling Characteristics of Micro-double Layer Membrane Used in Resonant Sensor
- 电子学报 2000年28卷第2期页码：59-61
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- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金和博士点基金资助课题
- DOI：
  中图分类号：
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用于谐振式传感器的微型双层薄板热挠曲的研究[J]. 电子学报, 2000,28(2):59-61.

A Study of Thermal Buckling Characteristics of Micro-double Layer Membrane Used in Resonant Sensor[J]. Acta Electronica Sinica, 2000, 28(2): 59-61.
用于谐振式传感器的微型双层薄板热挠曲的研究[J]. 电子学报, 2000,28(2):59-61. DOI：

A Study of Thermal Buckling Characteristics of Micro-double Layer Membrane Used in Resonant Sensor[J]. Acta Electronica Sinica, 2000, 28(2): 59-61. DOI：

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