行波管夹持杆微波等离子体化学气相沉积金刚石厚膜改善散热性能研究

谢扩军

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行波管夹持杆微波等离子体化学气相沉积金刚石厚膜改善散热性能研究

论文 | 更新时间：2025-07-16

- 行波管夹持杆微波等离子体化学气相沉积金刚石厚膜改善散热性能研究
- A Study on MPCVD of Thick Diamond Film on TWT Rod to Improve the Heat Dissipation
- 电子学报 2000年28卷第9期页码：85-87
- 作者机构：
  
  1. 电子科技大学,成都,610054
  2. 电子科技大学成都,610054
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  信息产业部电科院型号预研基金 (No.9503D009)
- DOI：
  中图分类号： TN124.2TN304.18O484.1
- 纸质出版：2000
- 稿件说明：
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谢扩军. 行波管夹持杆微波等离子体化学气相沉积金刚石厚膜改善散热性能研究[J]. 电子学报, 2000,28(9):85-87.

XIE Kuo-jun. A Study on MPCVD of Thick Diamond Film on TWT Rod to Improve the Heat Dissipation[J]. Acta Electronica Sinica, 2000, 28(9): 85-87.
谢扩军. 行波管夹持杆微波等离子体化学气相沉积金刚石厚膜改善散热性能研究[J]. 电子学报, 2000,28(9):85-87. DOI：

XIE Kuo-jun. A Study on MPCVD of Thick Diamond Film on TWT Rod to Improve the Heat Dissipation[J]. Acta Electronica Sinica, 2000, 28(9): 85-87. DOI：

摘要

采用微波等离子体化学气相沉积法在行波管Al

夹持杆上沉积金刚石厚膜

取代传统有毒的氧化铍陶瓷杆

用于宽带大功率行波管改善其散热性能.经材料性能测试

慢波组件装配及性能测试

获得了较好的实验结果:导热率大于12W/cm.℃

介电常数为5.0~5.5

介质损耗为1×10

-3

体积电阻率大于10

Ω/cm; 慢波组件导热性能与同结构的BeO组件相比提高3.0倍.整管冷测参数全部合格;整管热测在C波段测得

=95W

=35db.

Abstract

Thick diamond films were synthesized on Al

rod using a microwave plasma chemical vapor deposition technique

which can be taken over the traditional BeO rod and used in the wide-band high power TWT to improve the heat dissipation greatly.After material tests and evaluation

parts assembly and tests

we've got the first good results as follows:Thermal conductivity:＞12 W/cm.℃

ten times better than BeO Rod;dielectric constant:ε=5.0~5.5;RF loss:tanδ＜1×10

-3;resistivity:ρ＞10

１3

Ω/cm;slow wave parts assembly thermal test:3.0 times better than BeO.The first TWT with diamond rods has passed all cold tests and has got following hot test results:Δf=4~8GHz

Pout=95W

G=35db.

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