微机械微波共平面波导特性阻抗的有限元法分析

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论文 | 更新时间：2025-07-16

- 微机械微波共平面波导特性阻抗的有限元法分析
- Analysis of the Characteristic Impedance of Micromachined Microwave Transmission Lines with FEM
- 电子学报 2000年28卷第12期页码：113-115
- 作者机构：
  
  华东师范大学电子科学技术系,上海,200062
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金 (No.69876012);上海-应用材料研究与发展基金 (No.98008);高等学校博士学科点专项科研基金 (No.510.3030)
- DOI：
  中图分类号： TN62
- 纸质出版：2000
- 稿件说明：
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石艳玲, 于丹丹, 董兴其, 等. 微机械微波共平面波导特性阻抗的有限元法分析[J]. 电子学报, 2000,28(12):113-115.

SHI Yan-ling, YU Dan-dan, DONG Xing-qi, et al. Analysis of the Characteristic Impedance of Micromachined Microwave Transmission Lines with FEM[J]. Acta Electronica Sinica, 2000, 28(12): 113-115.
石艳玲, 于丹丹, 董兴其, 等. 微机械微波共平面波导特性阻抗的有限元法分析[J]. 电子学报, 2000,28(12):113-115. DOI：

SHI Yan-ling, YU Dan-dan, DONG Xing-qi, et al. Analysis of the Characteristic Impedance of Micromachined Microwave Transmission Lines with FEM[J]. Acta Electronica Sinica, 2000, 28(12): 113-115. DOI：

本文在相似剖分有限元法的基础上

结合微机械微波共平面波导的结构特点

提出了混合相似剖分有限元技术并应用于微机械微波共平面波导特性阻抗的数值计算

分析了其特性阻抗及其随参数的变化

并给出常用35Ω、50Ω、75Ω、120Ω波导的具体设计尺寸.

A new similarity method in FEM is presented for researching of the problems about the nonuniform and irregular region

such as micromachined microwave coplanar waveguide

which can be fabricated through a commercial CMOS process.By using this new method

we calculate the characteristic impedance of this kind of suspended waveguide and analyze the change with its dimensions.From the result

we summarize the different structures with characteristic impedance of 35Ω、50Ω、75Ω、120Ω.

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