基于离散模型的IC可靠性与成品率关系

赵天绪; 郝 跃; 陈太峰; 马佩军

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基于离散模型的IC可靠性与成品率关系

论文 | 更新时间：2025-07-16

- 基于离散模型的IC可靠性与成品率关系
- Relation Between Reliability and Yield of IC's Based on Discrete Model
- 电子学报 2001年29卷第11期页码：1515-1518
- 作者机构：
  
  西安电子科技大学微电子所,陕西,西安,710071
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： TN406
- 纸质出版：2001
- 稿件说明：
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赵天绪, 郝跃, 陈太峰, 等. 基于离散模型的IC可靠性与成品率关系[J]. 电子学报, 2001,29(11):1515-1518.

ZHAO Tian-xu, HAO Yue, CHEN Tai-feng, et al. Relation Between Reliability and Yield of IC's Based on Discrete Model[J]. Acta Electronica Sinica, 2001, 29(11): 1515-1518.
赵天绪, 郝跃, 陈太峰, 等. 基于离散模型的IC可靠性与成品率关系[J]. 电子学报, 2001,29(11):1515-1518. DOI：

ZHAO Tian-xu, HAO Yue, CHEN Tai-feng, et al. Relation Between Reliability and Yield of IC's Based on Discrete Model[J]. Acta Electronica Sinica, 2001, 29(11): 1515-1518. DOI：

摘要

集成电路的可靠性和成品率是制约半导体制造发展的两个主要因素.如何表征可靠性和成品率之间的关系是一个非常重要的问题.本文利用一种离散的成品率模型导出了二者的关系式

该关系式不仅考虑了线宽、线间距等版图的几何信息同时还考虑了与工艺有关的缺陷粒径分布等参数.通过模拟实验给出了该模型的有效性验证.

Abstract

Yield and reliability are two important factors affecting the development of semiconductor manufacturing.It is an important problem how to express the relation between yield and reliability.In this paper

a discrete yield model is given between yield and reliability

with many factors considered in this model

such as the line width

the spacing between the lines as well as the distribution of the defect size and so on.Finally

the validity of this model is shown by simulation.

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