工艺综合与响应表面法的应用

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工艺综合与响应表面法的应用

论文 | 更新时间：2025-07-16

- 工艺综合与响应表面法的应用
- Usage of Process Synthesis and Response Surface Method
- 电子学报 2002年30卷第9期页码：1274-1277
- 作者机构：
  
  清华大学微电子学研究所,北京,100084
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： TN405
- 纸质出版：2002
- 稿件说明：
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鲁勇, 张文俊, 郑期彤, 等. 工艺综合与响应表面法的应用[J]. 电子学报, 2002,30(9):1274-1277.

LU Yong, ZHANG Wen-jun, ZHENG Qi-tong, et al. Usage of Process Synthesis and Response Surface Method[J]. Acta Electronica Sinica, 2002, 30(9): 1274-1277.
鲁勇, 张文俊, 郑期彤, 等. 工艺综合与响应表面法的应用[J]. 电子学报, 2002,30(9):1274-1277. DOI：

LU Yong, ZHANG Wen-jun, ZHENG Qi-tong, et al. Usage of Process Synthesis and Response Surface Method[J]. Acta Electronica Sinica, 2002, 30(9): 1274-1277. DOI：

工艺综合是一种自顶向下的工艺、器件设计方法.MOSPAD软件系统是基于工艺综合的思想开发的工艺与器件辅助设计工具.本文通过使用MOSPAD系统

对工艺改进中的实际问题采用工艺综合的方法

确定正确的工艺条件.在工艺综合系统中使用响应表面法加快其综合的速度

并利用响应表面模型以分析工艺窗口造成的灵敏度问题.

Process Synthesis is a new top-down design method of semiconductor device and process.MOSPAD software is a kind of TCAD tool

based on the process synthes is methodology.This paper introduced the usage of the process synthesis and Response Surface Method (RSM) by MOSPAD

which will provide the process conditions for the improvement of a Fab..RSM speed up the synthesis

and will be used to analyse the sensitivity of the process window.

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