MOVPE生产用高纯水中硅的去除

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MOVPE生产用高纯水中硅的去除

论文 | 更新时间：2025-07-16

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- MOVPE生产用高纯水中硅的去除
- Silica Removal from Purified Water Produced for MOVPE Process
- 闻瑞梅，徐志彪，孟广祯，吴坚
- 电子学报 2003年31卷第5期页码：721-723
- 作者机构：
  1. 同济大学,上海,200092
  2. 华南理工大学,广东,广州,510030
  3. 北京格兰特膜分离设备有限公司,北京,100103
  4. 同济大学上海,200092
  5. 华南理工大学广东广州,510030
  6. 北京格兰特膜分离设备有限公司北京,100103
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