一种简单的表面加工多晶硅薄膜热扩散率在线测试结构

戚丽娜; 黄庆安; 李伟华

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一种简单的表面加工多晶硅薄膜热扩散率在线测试结构

论文 | 更新时间：2025-07-16

- 一种简单的表面加工多晶硅薄膜热扩散率在线测试结构
- On-Line Extraction for Thermal Diffusivity of Surface-Micromachined Polysilicon Thin Films
- 电子学报 2006年34卷第8期页码：1549-1552
- 作者机构：
  
  东南大学MEMS教育部重点实验室,江苏,南京,210096
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家863高科技研究发展计划 (No.2003AA404010)
- DOI：
  中图分类号： TN304.055
- 纸质出版：2006
- 稿件说明：
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戚丽娜, 黄庆安, 李伟华. 一种简单的表面加工多晶硅薄膜热扩散率在线测试结构[J]. 电子学报, 2006,34(8):1549-1552.

QI Li-na, HUANG Qing-an, LI Wei-hua. On-Line Extraction for Thermal Diffusivity of Surface-Micromachined Polysilicon Thin Films[J]. Acta Electronica Sinica, 2006, 34(8): 1549-1552.
戚丽娜, 黄庆安, 李伟华. 一种简单的表面加工多晶硅薄膜热扩散率在线测试结构[J]. 电子学报, 2006,34(8):1549-1552. DOI：

QI Li-na, HUANG Qing-an, LI Wei-hua. On-Line Extraction for Thermal Diffusivity of Surface-Micromachined Polysilicon Thin Films[J]. Acta Electronica Sinica, 2006, 34(8): 1549-1552. DOI：

摘要

本文提出了一种表面加工多晶硅薄膜的在线测试结构.模型综合考虑了辐射、对流以及向衬底的传热等因素的影响

通过分析两个长度不同但宽度与厚度相同的梁在相同加热电流下的瞬态电阻变化特性

来提取多晶硅薄膜的热扩散系数.用ANSYS软件验证了该模型的正确性

通过实验测得表面加工多晶硅薄膜的热扩散率为1.059×10

-5

±3×10

-6

/s.

Abstract

A test structure to measure the diffusivity of polysilicon thin films is proposed.The radiant heat loss and the convective heat loss from the structure have been considered.The same heating constant current is applied in the two beams

with the same width and thickness but variant length.The change of resistance with time up to thermal steady state is measured using a separation circuit

and then thermal diffusivity can be obtained.The model has been verified by ANSYS.The experiments show a thermal diffusivity of 1.059×10

-5

±3×10

-6m

/s.

关键词

Keywords

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