MEMS薄膜平均应力梯度及弹性模量在线提取方法

戎 华; 黄庆安; 王 鸣

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MEMS薄膜平均应力梯度及弹性模量在线提取方法

论文 | 更新时间：2025-07-16

- MEMS薄膜平均应力梯度及弹性模量在线提取方法
- A Method for In-Situ Measuring Average Stress Gradient and Elastic Modulus of a MEMS Film
- 电子学报 2007年35卷第2期页码：311-314
- 作者机构：
  
  1. 南京师范大学光电技术江苏省重点实验室,江苏,南京,210097
  2. 东南大学MEMS教育部重点实验室,江苏,南京,210096
  3. 南京师范大学光电技术江苏省重点实验室江苏南京,210097
  4. 东南大学MEMS教育部重点实验室江苏南京,210096
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  江苏省自然科学基金 (No.BK2006223)
- DOI：
  中图分类号： O484.2O484.5
- 纸质出版：2007
- 稿件说明：
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戎华, 黄庆安, 王鸣. MEMS薄膜平均应力梯度及弹性模量在线提取方法[J]. 电子学报, 2007,35(2):311-314.

RONG Hua, HUANG Qing-an, WANG Ming. A Method for In-Situ Measuring Average Stress Gradient and Elastic Modulus of a MEMS Film[J]. Acta Electronica Sinica, 2007, 35(2): 311-314.
戎华, 黄庆安, 王鸣. MEMS薄膜平均应力梯度及弹性模量在线提取方法[J]. 电子学报, 2007,35(2):311-314. DOI：

RONG Hua, HUANG Qing-an, WANG Ming. A Method for In-Situ Measuring Average Stress Gradient and Elastic Modulus of a MEMS Film[J]. Acta Electronica Sinica, 2007, 35(2): 311-314. DOI：

摘要

提出了一种利用静电作用下悬臂梁的吸合电压提取MEMS薄膜沿厚度方向的平均应力梯度及弹性模量的方法

该方法的关键在于实现悬臂梁吸合电压的快速、精确计算.考虑了悬臂梁由应力梯度引起的沿宽度方向的弯曲

提高了吸合电压的计算精度.实际模拟表明该测量方法计算速度快、精度高

能够应用于实际工艺过程中材料参数的在线测量.

Abstract

An electrostatically actuated in-situ measuring method for average stress gradient and elastic modulus of a MEMS film was proposed based on pull-in voltages of a set of cantilevers.The key of the measuring method is to realize rapid and accurate calculation of pull-in voltages of the cantilevers.To increase the accuracy of the measurement

bending of the cantilevers along the width direction due to the stress gradient was considered.Actual simulations indicate that the calculating speed and the accuracy of the measuring method are ideal

and the method can apply to in-situ measurement.

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