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小功率平面螺旋电感耦合微波等离子体源的研究
小功率平面螺旋电感耦合微波等离子体源的研究
Study on Low Power Inductively-Coupled Microwave Plasma Source Based on Planar Spiral Microstrip
- 电子学报 2009年37卷第8期 页码：1860-1864
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凌一鸣
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