新型磁驱动增大检测电容的高精度MEMS惯性传感器研究

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学术论文 | 更新时间：2025-07-08

- 新型磁驱动增大检测电容的高精度MEMS惯性传感器研究
- A Novel MEMS Inertial Sensor with the Actuators Drived by Lorentz Forcefor Increasing the Initial Sensing Capacitance
- 电子学报 2010年38卷第5期页码：1053-1057
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董林玺, 焦继伟, 颜海霞, 等. 新型磁驱动增大检测电容的高精度MEMS惯性传感器研究[J]. 电子学报, 2010,38(5):1053-1057.

A Novel MEMS Inertial Sensor with the Actuators Drived by Lorentz Forcefor Increasing the Initial Sensing Capacitance[J]. Acta Electronica Sinica, 2010, 38(5): 1053-1057.
董林玺, 焦继伟, 颜海霞, 等. 新型磁驱动增大检测电容的高精度MEMS惯性传感器研究[J]. 电子学报, 2010,38(5):1053-1057. DOI：

A Novel MEMS Inertial Sensor with the Actuators Drived by Lorentz Forcefor Increasing the Initial Sensing Capacitance[J]. Acta Electronica Sinica, 2010, 38(5): 1053-1057. DOI：

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