一种可用于硅刻蚀工艺模拟的三维表面演化算法

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一种可用于硅刻蚀工艺模拟的三维表面演化算法

学术论文 | 更新时间：2025-07-16

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- 一种可用于硅刻蚀工艺模拟的三维表面演化算法
- A 3-D Surface Evolvement Algorithm for Silicon Etching Simulations
- 张鉴，戚昊琛，徐栋梁，胡智文
- 电子学报 2011年39卷第8期页码：1869-1872
- 作者机构：
  1. 合肥工业大学电子科学与应用物理学院,安徽,合肥,230009
  2. 温州大学瓯江学院,浙江,温州,325035
  3. 合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽合肥,230009
  4. 温州大学瓯江学院浙江温州,325035
- 作者简介：
- 基金信息：
  安徽省教育厅省级自然科学研究计划重点基金 (No.KJ2008A105);东南大学MEMS教育部重点实验室开放研究基金;中央高校基本科研业务费专项资金 (No.2011HGQC0997)
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