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空气阻尼对微谐振器品质因子及其传输函数的影响
空气阻尼对微谐振器品质因子及其传输函数的影响
Influence of Slide Films Damping on Quality Factor and Transfer Function of Laterally-Driven Comb Microresonator
- 电子学报 2002年30卷第6期 页码：827-830
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