您当前的位置:
首页 >
文章列表页 >
电子束光刻三维仿真研究
学术论文 | 更新时间:2025-07-16
    • 电子束光刻三维仿真研究

    • Three-dimensional Simulation Study on the Electron Beam Lithography

    • 宋会英 ,杨 瑞 ,赵真玉 ,BR
    • 电子学报 2010年38卷第3期 页码:617-619

    移动端阅览

  •  
  •  
  • HTML全文

  • 参考文献

  • 出版信息

  • 数据统计

论文导航
icon
试读结束,您可以激活您的VIP账号继续阅读。
去激活 >
icon
试读结束,您可以通过登录账户,到个人中心,购买VIP会员阅读全文。
已是VIP会员?
去登录 >

80

浏览量

2055

下载量

0

CSCD

文章被引用时,请邮件提醒。
提交
工具集
  • BibTeX下载
  • Endnote下载
  • RefMan 下载
  • NoteExpress下载
  • NoteFirst下载

相关文章

宽带硅衬底RF片上螺旋电感物理模型
端网协同传输技术演进与思考
基于RSMA的通信导航一体化信号波形设计
低轨卫星网络自适应随机接入研究
基于多维DHS的AFDM卫星通信隐蔽波形

相关作者

任军
杨帆
郑薇
尤焕成
王向展
李立萍
杨谟华

相关机构

电子科技大学