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硼扩散引起薄SiO2栅介质的性能退化
更新时间:2025-12-08
    • 硼扩散引起薄SiO2栅介质的性能退化

    • 硼扩散引起薄SiO2栅介质的性能退化

    • 电子学报   1999年第8期
    • 中图分类号: O474
    • 纸质出版:1999

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  • [1]高文钰,刘忠立,梁秀琴,于芳,聂纪平,李国花.硼扩散引起薄SiO_2栅介质的性能退化[J].电子学报,1999(08):145. DOI:

    高文钰, 刘忠立, 梁秀琴, et al. 硼扩散引起薄SiO2栅介质的性能退化[J]. Acta Electronica Sinica, 1999, (8). DOI:

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