粉末溅射平面薄膜型SnO<sub>2</sub>／CeO<sub>2</sub>酒敏传感器

李建明; 刘文利; 裘南畹; 吕红浪

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粉末溅射平面薄膜型SnO₂／CeO₂酒敏传感器

更新时间：2025-12-08

- 粉末溅射平面薄膜型SnO₂／CeO₂酒敏传感器
- Powder Sputtering Plane Thin-Film SnO₂/CeO₂ Alcohol Sensor
- 电子学报 1996年第5期
- 作者机构：
  
  1. 山东工业大学数理系
  2. 济南大学机电系
  3. 山东工业大学数理系济南大学机电系
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：1996
- 稿件说明：
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[1]李建明,刘文利,裘南畹,吕红浪.粉末溅射平面薄膜型SnO_2／CeO_2酒敏传感器[J].电子学报,1996(05):114-116.

李建明, 刘文利, 裘南畹, et al. Powder Sputtering Plane Thin-Film SnO₂/CeO₂ Alcohol Sensor[J]. Acta Electronica Sinica, 1996, (5).
[1]李建明,刘文利,裘南畹,吕红浪.粉末溅射平面薄膜型SnO_2／CeO_2酒敏传感器[J].电子学报,1996(05):114-116. DOI：

李建明, 刘文利, 裘南畹, et al. Powder Sputtering Plane Thin-Film SnO₂/CeO₂ Alcohol Sensor[J]. Acta Electronica Sinica, 1996, (5). DOI：

摘要

介绍粉末溅射研制的ＳｎＯ２／ＣｅＯ２酒敏薄膜的性能与膜厚、温度和掺杂量等关系的研究结果，并根据此结果对平面薄膜型酒敏传感器的工艺和结构进行的设计；介绍所研制器件的一些性能，并对有关问题进行讨论。

Abstract

SnO2/CeO2 gas sensing thin films for alcohol were deposited by powder sputtering

whose properties releting to film thickness

temperature and dose are given. For these results above

the technology and structure of plane thin film gas sensors for alcohol were designed. Some properties of these sensors are introduced and the releted problems are discussed.

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