静电驱动硅一体化微机械谐振器

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静电驱动硅一体化微机械谐振器

更新时间：2025-12-08

- 静电驱动硅一体化微机械谐振器
- Electrostatic-Excited Silicon-Unitized Micromechanical Resonator
- 电子学报 1995年第8期
- 作者机构：
  
  浙江大学
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家重点自然科学基金,霍英东青年教师基金
- DOI：
  中图分类号： TN752.8
- 纸质出版：1995
- 稿件说明：
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[1]金仲和,王跃林,徐义刚,丁纯,陈锋.静电驱动硅一体化微机械谐振器[J].电子学报,1995(08):20-23.

金仲和, 王跃林, 徐义刚, et al. Electrostatic-Excited Silicon-Unitized Micromechanical Resonator[J]. Acta Electronica Sinica, 1995, (8).
[1]金仲和,王跃林,徐义刚,丁纯,陈锋.静电驱动硅一体化微机械谐振器[J].电子学报,1995(08):20-23. DOI：

金仲和, 王跃林, 徐义刚, et al. Electrostatic-Excited Silicon-Unitized Micromechanical Resonator[J]. Acta Electronica Sinica, 1995, (8). DOI：

本文利用硅硅直接键合技术引入了一种完全采用单晶硅制作的静电激励的微机械谐振器，文中对静电激励力进行了分析，实测表明该谐振器频率为５．８６ｋＨｚ，品质因数在１０Ｐａ的低真空下即可达６００以上。

A new structure of silicon-unitized resonator is proposed and realized

which is made with SDB technique.Electostatic force is analized in this paper.The resonance frequency of the device is about 5.86kHz by experiment

and the Q-factor is above 600 in 10Pa vacuum.

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