真空微电子学的研究与发展

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真空微电子学的研究与发展

更新时间：2025-12-08

- 真空微电子学的研究与发展
- Research and Development of Vacuum Microelectronics
- 电子学报 1995年第10期
- 作者机构：
  
  东南大学微电子中心
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金(61701067;61702065)
- DOI：
  中图分类号： TN101
- 纸质出版：1995
- 稿件说明：
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[1]黄庆安.真空微电子学的研究与发展[J].电子学报,1995(10):134-138+133.

Huang Qiangan. Research and Development of Vacuum Microelectronics[J]. Acta Electronica Sinica, 1995, (10).
[1]黄庆安.真空微电子学的研究与发展[J].电子学报,1995(10):134-138+133. DOI：

Huang Qiangan. Research and Development of Vacuum Microelectronics[J]. Acta Electronica Sinica, 1995, (10). DOI：

本文系统介绍了近年来真空微电子学的研究内容、达到的水平和亟待解决的问题：包括真空微电子器件的基本结构、场发射阵列、微尖结构物理、新材料和新器件的探索以及真空微电子学的主要应用。

The research fields

current level and problems of vacuum microelectronics are presented

including basic structures of vacuum microdevices

field emission array

physics of microtip

new materials

new principles of vacuum microelectronics and main applications.

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