用于高纯水制备中外压式毛细管超过滤器

闻瑞梅; 岩堀博; 桂常敦; 高岷

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用于高纯水制备中外压式毛细管超过滤器

更新时间：2025-12-08

- 用于高纯水制备中外压式毛细管超过滤器
- External Pressurizing Capillary Ultrafiltration Module for Ultra-Pure Water Production
- 电子学报 1995年第5期
- 作者机构：
  
  1. 中国科学院半导体研究所
  2. 日东电工滋贺工厂
  3. 日东电工北京办事处
  4. 中国科学院半导体研究所日东电工滋贺工厂日东电工北京办事处
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： TU991.24
- 纸质出版：1995
- 稿件说明：
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[1]闻瑞梅,岩堀博,桂常敦,高岷.用于高纯水制备中外压式毛细管超过滤器[J].电子学报,1995(05):105-108.

Wen Ruimei. External Pressurizing Capillary Ultrafiltration Module for Ultra-Pure Water Production[J]. Acta Electronica Sinica, 1995, (5).
[1]闻瑞梅,岩堀博,桂常敦,高岷.用于高纯水制备中外压式毛细管超过滤器[J].电子学报,1995(05):105-108. DOI：

Wen Ruimei. External Pressurizing Capillary Ultrafiltration Module for Ultra-Pure Water Production[J]. Acta Electronica Sinica, 1995, (5). DOI：

摘要

本文介绍了外压式毛细管超过滤器的结构、性能，并与内压式毛细管超过滤器进行了对比。外压式毛细管超过滤器完全可以除去７０　以上的胶体、二氧化硅、细菌和内毒素，是适应ＶＬＳＩ需要的最佳终端设备。

Abstract

The structure and performance of the external pressurizing capillary ultrafiltration modules are described and compared with internal pressurizing capillary ultrafiltration modules. The colloidal silica

bacteria and endotoxin with diameter greater than 70 can be removed completely by the external pressurizing capillary UF modules

which can meet the requirement of VLSI

therefore

they are excellent to by used as a final step in the polishing system.

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