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氢对硅中4d过渡杂质的钝化
更新时间:2025-12-08
    • 氢对硅中4d过渡杂质的钝化

    • Hydrogen Passivation of Deep Level Related to 4d Transition Impurities in Silicon

    • 电子学报   1994年第5期
    • 中图分类号: TN304.12
    • 纸质出版:1994

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  • [1]周洁,王永康,孙景兰,卢励吾,吴汲安.氢对硅中4d过渡杂质的钝化[J].电子学报,1994(05):80-83. DOI:

    周洁, 王永康, 孙景兰, et al. Hydrogen Passivation of Deep Level Related to 4d Transition Impurities in Silicon[J]. Acta Electronica Sinica, 1994, (5). DOI:

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