[1]钱佩信,侯东彦,林惠旺,徐立.超大规模集成电路快速热处理技术[J].电子学报,1992(11):1-11.

Tsien Pei-Hsin, Hou Dongyan, Lin Huiwang, et al. Rapid Thermal Processina Technoloay for ULSI[J]. Acta Electronica Sinica, 1992, (11): 1-11.

[1]钱佩信,侯东彦,林惠旺,徐立.超大规模集成电路快速热处理技术[J].电子学报,1992(11):1-11. DOI：

Tsien Pei-Hsin, Hou Dongyan, Lin Huiwang, et al. Rapid Thermal Processina Technoloay for ULSI[J]. Acta Electronica Sinica, 1992, (11): 1-11. DOI：