八种电子级气体中28种杂质全分析技术及质量监控

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八种电子级气体中28种杂质全分析技术及质量监控

更新时间：2025-12-08

- 八种电子级气体中28种杂质全分析技术及质量监控
- 八种电子级气体中28种杂质全分析技术及质量监控
- 电子学报 1992年第8期页码：103
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  中图分类号：
- 纸质出版：1992
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[1]闻瑞梅.八种电子级气体中28种杂质全分析技术及质量监控[J].电子学报,1992(08):103.

闻瑞梅. 八种电子级气体中28种杂质全分析技术及质量监控[J]. Acta Electronica Sinica, 1992, (8): 103.
[1]闻瑞梅.八种电子级气体中28种杂质全分析技术及质量监控[J].电子学报,1992(08):103. DOI：

闻瑞梅. 八种电子级气体中28种杂质全分析技术及质量监控[J]. Acta Electronica Sinica, 1992, (8): 103. DOI：

摘要

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正

>

由中国科学院半导体研究所与北京特种气体研究所共同对电子工业常用的8种电子级气体中六大类28种杂质进行了全面分析研究和质量控制。本工作始于1980年

现已获得了国际上领先的一整套分析技术。 1.8种电子级气体:N

2

、H

2

、O

2

、Ar、He、HCl、CO

2

、NH

3

中六大类分析技术水平如下:

Abstract

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正

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由中国科学院半导体研究所与北京特种气体研究所共同对电子工业常用的8种电子级气体中六大类28种杂质进行了全面分析研究和质量控制。本工作始于1980年

现已获得了国际上领先的一整套分析技术。 1.8种电子级气体:N

2

、H

2

、O

2

、Ar、He、HCl、CO

2

、NH

3

中六大类分析技术水平如下:

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