气体吸附对ZnO薄膜表面电导的影响

张鹰

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气体吸附对ZnO薄膜表面电导的影响

更新时间：2025-12-08

- 气体吸附对ZnO薄膜表面电导的影响
- The Influence of Absorbed Gases on the Surface Conductivity of ZnO Film
- 电子学报 1987年第2期页码：111-112
- 作者机构：
  
  成都电讯工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：1987
- 稿件说明：
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[1]张鹰.气体吸附对ZnO薄膜表面电导的影响[J].电子学报,1987(02):111-112.

Chang Ying. The Influence of Absorbed Gases on the Surface Conductivity of ZnO Film[J]. Acta Electronica Sinica, 1987, (2): 111-112.
[1]张鹰.气体吸附对ZnO薄膜表面电导的影响[J].电子学报,1987(02):111-112. DOI：

Chang Ying. The Influence of Absorbed Gases on the Surface Conductivity of ZnO Film[J]. Acta Electronica Sinica, 1987, (2): 111-112. DOI：

摘要

利用在氧化气氛中

ZnO薄膜的表面电导对还原气体分压具有敏感性这一特性

可望制作ZnO薄膜气体传感器。分析表明只在较高温度下

才具有实用的灵敏度及响应速度。

Abstract

In oxide atmosphere

the surface conductivity of ZnO film is sensitive to the partial pressure of reducing gas. With this property

ZnO film can be used as gas sensors

but it can be used with practical sensitivity and response speed only when it is under higher temperatures because of the absorbing properties of the film surface.

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The Influence of Absorbed Gases on the Surface Conductivity of ZnO Film

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