半导体器件有限元分析的网格自适应剖分技术

谈根林; 武云建; 杨琳

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半导体器件有限元分析的网格自适应剖分技术

更新时间：2025-12-08

- 半导体器件有限元分析的网格自适应剖分技术
- The Self-Adaptive Mesh Refinement Technique for the Finite Element Analysis of Semiconductor Devices
- 电子学报 1987年第3期页码：94-98
- 作者机构：
  
  北京工业大学
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：1987
- 稿件说明：
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[1]谈根林,武云建,杨琳.半导体器件有限元分析的网格自适应剖分技术[J].电子学报,1987(03):94-98.

Tan Gen-lin, Wu Yun-jian, Yang Lin. The Self-Adaptive Mesh Refinement Technique for the Finite Element Analysis of Semiconductor Devices[J]. Acta Electronica Sinica, 1987, (3): 94-98.
[1]谈根林,武云建,杨琳.半导体器件有限元分析的网格自适应剖分技术[J].电子学报,1987(03):94-98. DOI：

Tan Gen-lin, Wu Yun-jian, Yang Lin. The Self-Adaptive Mesh Refinement Technique for the Finite Element Analysis of Semiconductor Devices[J]. Acta Electronica Sinica, 1987, (3): 94-98. DOI：

摘要

本文给出了一种用于半导体器件有限元分析的网格自适应细分技术。计算表明

这种方法可以显著地减少网点和非线性迭代次数

从而显著地减小了计算成本

提高了分析的效率。

Abstract

A self-adaptive mesh refinement technique for the finite element analysis of semiconductor devices is given. The computation shows that such technique can considerably reduce the number of mesh points and non-linear iterations. Thus the computation cost is decreased and efficiency of devices analysis is improved remarkably.

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半导体器件有限元分析的网格自适应剖分技术

The Self-Adaptive Mesh Refinement Technique for the Finite Element Analysis of Semiconductor Devices

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