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氧本征吸除工艺的实验研究
更新时间:2025-12-08
    • 氧本征吸除工艺的实验研究

    • The Experimental Reaserch of Oxygen Intrinsic Gettering

    • 电子学报   1985年第1期 页码:80-85
    • 纸质出版:1985

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  • [1]宗祥福,顾孝义,戚盛勇,神承复,罗林基,黄慧玲,俞桂贞,袁小莺,秦涛,杨灏,陈智生.氧本征吸除工艺的实验研究[J].电子学报,1985(01):80-85. DOI:

    Zong Xiang-fu, Gu Xiao-yi, Qi Sheng-yong, et al. The Experimental Reaserch of Oxygen Intrinsic Gettering[J]. Acta Electronica Sinica, 1985, (1): 80-85. DOI:

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