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金刚石表面损伤层及其对外延金刚石性能的影响研究
金刚石表面损伤层及其对外延金刚石性能的影响研究
Study on the Surface Damage Layer of Diamond and Its Influence on the Performance of Epitaxial Diamond
- 电子学报 2026年54卷第5期 页码：2054-2060
DOI： 10.12263/DZXB.20260325
录用：2026-04-08
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