基于MEMS技术的智能传感器系统(“智能灰尘”)

张紫辰; 董恺琛; 张益源; 王建中; 赵嘉昊; 尤政

doi:10.3969/j.issn.0372-2112.2015.10.032

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基于MEMS技术的智能传感器系统(“智能灰尘”)

综述评论 | 更新时间：2025-07-16

- 基于MEMS技术的智能传感器系统(“智能灰尘”)
- MEMS-Based Smart Sensing System ("Smart Dust")
- 电子学报 2015年43卷第10期页码：2095-2109
- 作者机构：
  
  精密测试技术及仪器国家重点实验室, 微纳制造器件与系统协同创新中心, 清华大学精密仪器系,北京,100084
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  博士后基金资助 (No.2013M530613);清华大学自主科研项目 (No.20121087915);国家高技术研究发展计划 (No.2012AA120603)
- DOI：10.3969/j.issn.0372-2112.2015.10.032
  中图分类号： TP212.6
- 纸质出版：2015
- 稿件说明：
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张紫辰, 董恺琛, 张益源, 等. 基于MEMS技术的智能传感器系统(“智能灰尘”)[J]. 电子学报, 2015,43(10):2095-2109.

ZHANG Zi-chen, DONG Kai-chen, ZHANG Yi-yuan, et al. MEMS-Based Smart Sensing System ("Smart Dust")[J]. Acta Electronica Sinica, 2015, 43(10): 2095-2109.
张紫辰, 董恺琛, 张益源, 等. 基于MEMS技术的智能传感器系统(“智能灰尘”)[J]. 电子学报, 2015,43(10):2095-2109. DOI： 10.3969/j.issn.0372-2112.2015.10.032.

ZHANG Zi-chen, DONG Kai-chen, ZHANG Yi-yuan, et al. MEMS-Based Smart Sensing System ("Smart Dust")[J]. Acta Electronica Sinica, 2015, 43(10): 2095-2109. DOI： 10.3969/j.issn.0372-2112.2015.10.032.

摘要

基于微机电系统(MEMS)技术的智能传感器系统(智能灰尘

Smart Dust)是体积小、能耗低、具备多功能传感与探测、信息处理与存储、双向无线通信、能源自供给与管理等功能的集成系统.它既可以独立工作也可以多系统协同工作.本文首先明确智能灰尘的基本概念及应用领域;随后介绍智能灰尘集成系统的设计方法和结构组成;通过综述智能灰尘技术的发展历程与趋势

以及国内外相关技术的发展现状

最后总结智能灰尘系统关键的技术难点与重点

并明确今后MEMS工艺及集成技术突破的可行性方案.

Abstract

MEMS-based smart sensing system (Smart Dust) with ultra small size and low power consumption is integrated by multi-functional sensors including information detection

process and interexchange

it also contains the composite energy system with energy harvesting system and power management programs.Such device therefore is able to work either autonomously or collaboratively.This paper is to clarify fundamentals and applications of smart dust technology

followed by its architecture design of such device.And then

focus will be given on several critical issues and technical difficulties by the development trajectory and interrelated technologies of smart dust.Finally

the feasibility to achieve such integrated multi-function sensing system with MEMS manufactory engineering techniques will be addressed.

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