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缝隙阵列的时域溅射特性研究
学术论文 | 更新时间:2025-07-16
    • 缝隙阵列的时域溅射特性研究

    • Study on the Time Domain Sputtering Effect and Scattering of Slot Arrays of Different Sizes

    • 电子学报   2018年46卷第8期 页码:2030-2034
    • DOI:10.3969/j.issn.0372-2112.2018.08.032    

      中图分类号: TN95
    • 网络出版:2018-08-25

      纸质出版:2018

    移动端阅览

  • 侯海健, 李大伟, 王均宏. 缝隙阵列的时域溅射特性研究[J]. 电子学报, 2018,46(8):2030-2034. DOI: 10.3969/j.issn.0372-2112.2018.08.032.

    HOU Hai-jian, LI Da-wei, WANG Jun-hong. Study on the Time Domain Sputtering Effect and Scattering of Slot Arrays of Different Sizes[J]. Acta Electronica Sinica, 2018, 46(8): 2030-2034. DOI: 10.3969/j.issn.0372-2112.2018.08.032.

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