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电子学报  2001, Vol. 29 Issue (2): 160-163    DOI:
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深亚微米槽栅NMOSFET结构参数对其抗热载流子特性的影响
任红霞, 郝 跃, 许冬岗
西安电子科技大学微电子研究所,西安 710071
Study on the Influence for Structure Parameters on the Hot-Carrier-Effect Immunity in NMOSFET
REN Hong-xia, HAO Yue, XU Dong-gang
Microelectronics Institute,Xidian University,Xi'an 710071,China

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