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电子学报  2003, Vol. 31 Issue (12): 1914-1916    DOI:
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低电压驱动的硅基Ka波段级联式MEMS移相器
石艳玲, 卿 健, 李 炜, 忻佩胜, 朱自强, 赖宗声
华东师范大学电子科学技术系,上海 200062
MEMS Distributed Phase Shifter on High-Resistivity Silicon with Low Pull-Down Voltage
SHI Yan-ling, QING Jian, LI Wei, XIN Pei-sheng, ZHU Zi-qiang, LAI Zong-sheng
Department of E.E.,East China Normal University,Shanghai 200062,China

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