基于晶圆级封装的W波段微同轴天线小型化设计与实现

doi:10.12263/DZXB.20210563

电子学报 ›› 2022, Vol. 50 ›› Issue (5): 1098-1106.DOI: 10.12263/DZXB.20210563

基于晶圆级封装的W波段微同轴天线小型化设计与实现

刘博源¹, 江云¹, 黄昭宇¹, 陈嘉贝¹, 叶源¹, 季鹏飞¹, 许庆华², 吴微微¹, 黄敬健¹, 袁乃昌¹

^1.国防科技大学电子科学学院CEMEE国家重点实验室, 湖南长沙 410073
^2.湖北三江航天险峰电子信息有限公司, 湖北孝感 432000

收稿日期:2021-07-19 修回日期:2021-08-19 出版日期:2022-05-25
- 通讯作者:
- 江云
- 作者简介:
- 刘博源　男,1991年生于河北石家庄.现为国防科技大学电子科学学院博士研究生.主要研究方向为微波毫米波器件和复合电磁材料.E-mail: liuboyuan@nudt.edu.cn
  江云男,1990年生于湖南邵阳.现为国防科技大学电子科学学院博士研究生.主要研究方向为毫米波无源器件.E-mail: 867581306@qq.com
  黄昭宇　男,1992年生于河北石家庄.现为国防科技大学电子科学学院博士研究生.主要研究方向为相控阵紧耦合天线、毫米波器件与系统.E-mail: huangzhaoyu10@163.com
- 基金资助:
- 国防预研项目 (AD1.235.00032)

Miniaturization Design and Implementation of W-Band Micro-Coaxial Antenna Based on Wafer-Level Packaging

LIU Bo-yuan¹, JIANG Yun¹, HUANG Zhao-yu¹, CHEN Jia-bei¹, YE Yuan¹, JI Peng-fei¹, XU Qing-hua², WU Wei-wei¹, HUANG Jing-jian¹, YUAN Nai-chang¹

^1.CEMEE SKL, School of Electronic Science, National University of Defense Technology, Changsha, Hunan 410073, China
^2.Xianfeng Electronic Information Co., Ltd, Sanjiang Aerospace, Xiaogan, Hubei 432000, China

Received:2021-07-19 Revised:2021-08-19 Online:2022-05-25 Published:2022-06-18
- Corresponding author:
- JIANG Yun
- Supported by:
- National Defense Pre-research Program (AD1.235.00032)

摘要/Abstract

摘要：

空气微同轴是一种以空气作为填充介质的波导结构, 波导壁周期性开窗, 内导体由稀疏介质带支撑, 具备频带宽、隔离度高、尺寸小的特点, 可以实现三维高密度系统集成. 本文结合空气微同轴的超宽带特性, 考虑到其天线/电路一体可加工易级联, 利用CST、HFSS等软件, 得到了W波段微同轴天线模型. 实际加工出对应微同轴天线实物. 测试结果显示, 在中心频率94GHz, 实现了反射系数低于-10dB的宽带特性.在毫米波频段内得到天线单元增益值超过7dBi、组阵后增益大于12dBi的工作性能, 后者E面3dB波束宽度超过20°. 此晶圆级封装的毫米波天线相比传统介质波导天线缩小100倍, 可以批量高精度加工, 适合在诸多毫米波模块中应用和推广.

关键词: 微同轴, 小型化, W波段, 天线, 阵列, 晶圆级, 辐射特性

Abstract:

The air micro-coax is a kind of structure with air as the filling medium, where its waveguide wall is periodically windowed, and the inner conductor is supported by the sparse medium belt. Its characteristics include wide frequency band, high isolation, small size, and being able to achieve three-dimensional high-density system integration. In connection with air micro-coax’s features of ultra wide band(UWB), this paper considered that its antenna/circuit integration was processible and easily cascaded. W-band micro-coaxial antenna models were obtained by modeling and simulation with CST, HFSS. Corresponding micro-coaxial antennas were fabricated. The test results showed that at 94GHz central frequency, reflection coefficient was lower than -10dB. Working performance of the gain value of the antenna unit with over 7dB and that of arrayed antenna over 12dB were realized in the millimeter wave frequency band, and the 3dB beam width of the latter one on E-field was beyond 20°. The millimeter wave antenna packaged at the wafer-level is 100 times smaller than the traditional dielectric waveguide antenna, and can be processed in batches with high precision. The design can be applied and popularized in many millimeter wave modules.

Key words: micro-coax, miniaturization, W-band, antenna, array, wafer-level, radiation characteristics

中图分类号:

刘博源, 江云, 黄昭宇, 陈嘉贝, 叶源, 季鹏飞, 许庆华, 吴微微, 黄敬健, 袁乃昌. 基于晶圆级封装的W波段微同轴天线小型化设计与实现[J]. 电子学报, 2022, 50(5): 1098-1106.

LIU Bo-yuan, JIANG Yun, HUANG Zhao-yu, CHEN Jia-bei, YE Yuan, JI Peng-fei, XU Qing-hua, WU Wei-wei, HUANG Jing-jian, YUAN Nai-chang. Miniaturization Design and Implementation of W-Band Micro-Coaxial Antenna Based on Wafer-Level Packaging[J]. Acta Electronica Sinica, 2022, 50(5): 1098-1106.

图/表 16

参考文献 13

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11	PARMENTF, GHIOTTOA, VUONGT P, et al. Double dielectric slab-loaded air-filled SIW phase shifters for high-performance millimeter-wave integration[J]. Trans Microw Theory Tech, 2016, 64(9): 2833‑2842.
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13	LIMAI S, PARMENTF, GHIOTTOA, et al. Broadband dielectric-to-half-mode air-filled substrate integrated waveguide transition[J]. Microw Wirel Compon Lett, 2016, 26(6): 383‑385.

参数名称	指标
中心频率	94GHz
带宽	8GHz
天线单元增益	不小于7dBi
天线单元增益平坦度	不大于0.4dB
阵列天线增益	不小于12dBi
降到天线增益平坦度	不大于1.0dB
阵列天线远场3dB波束宽度（E面）	不小于20°
阵列天线远场3dB波束宽度（H面）	不小于80°
阵列天线端口反射系数	不大于-10dB
天线单元电阻面特性阻抗	50Ω
微同轴传输线插入损耗	不大于0.5dB/cm
微同轴传输线截面尺寸	不大于0.75mm×0.6mm
阵列天线面尺寸	不大于8mm×2mm

参数名称	指标
中心频率	94GHz
带宽	8GHz
天线单元增益	不小于7dBi
天线单元增益平坦度	不大于0.4dB
阵列天线增益	不小于12dBi
降到天线增益平坦度	不大于1.0dB
阵列天线远场3dB波束宽度（E面）	不小于20°
阵列天线远场3dB波束宽度（H面）	不小于80°
阵列天线端口反射系数	不大于-10dB
天线单元电阻面特性阻抗	50Ω
微同轴传输线插入损耗	不大于0.5dB/cm
微同轴传输线截面尺寸	不大于0.75mm×0.6mm
阵列天线面尺寸	不大于8mm×2mm

图3（a）	d1=1.02	d2=1.35	d3=1.40
图3（a）	d4=1.80	d5=1.60	d6=2.00
图3（b）	d7=0.50	d8=0.40	d9=0.50
图3（c）	d10=0.30	d11=0.40
图3（c）	d12=0.18	d13=0.10

图3（a）	d1=1.02	d2=1.35	d3=1.40
图3（a）	d4=1.80	d5=1.60	d6=2.00
图3（b）	d7=0.50	d8=0.40	d9=0.50
图3（c）	d10=0.30	d11=0.40
图3（c）	d12=0.18	d13=0.10

频率	90GHz	94GHz	98GHz
反射系数	-11.52dB	-17.83dB	-14.97dB
增益	12.16dBi	12.52dBi	13.01dBi
3dB波束宽度（E面）	25.2°	24.7°	22.3°
3dB波束宽度（H面）	94.7°	88.4°	83.5°

基于晶圆级封装的W波段微同轴天线小型化设计与实现

Miniaturization Design and Implementation of W-Band Micro-Coaxial Antenna Based on Wafer-Level Packaging

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