面向医疗微系统应用的基于引线键合仪的碳纳米管转移集成工艺方法

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电子学报 ›› 2022, Vol. 50 ›› Issue (4) : 984-989. DOI: 10.12263/DZXB.20211001

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Transfer and Integration of Carbon Nanotubes Using a Wire Bonder for Application in Medical Microsystems

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