绝缘体上硅功率半导体单芯片集成技术

张龙, 刘斯扬, 孙伟锋, 马杰, 盘成务, 何乃龙, 张森, 苏巍

电子学报 ›› 2023, Vol. 51 ›› Issue (2) : 514-526.

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电子学报 ›› 2023, Vol. 51 ›› Issue (2) : 514-526. DOI: 10.12263/DZXB.20220492
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绝缘体上硅功率半导体单芯片集成技术

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Study on the Silicon-on-Insulator Power Semiconductor Monolithic Integration Technology

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