基于缺陷均匀分布的集成电路制造成品率与可靠性之间的关系模型

赵天绪, 段旭朝

电子学报 ›› 2012, Vol. 40 ›› Issue (8) : 1665-1669.

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电子学报 ›› 2012, Vol. 40 ›› Issue (8) : 1665-1669. DOI: 10.3969/j.issn.0372-2112.2012.08.027
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基于缺陷均匀分布的集成电路制造成品率与可靠性之间的关系模型

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A Relation Model Between Integrated Circuit Yield and Reliability Based on the Defect’s Uniform Distribution

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