具有埋层结构电介质样品扫描电镜二次电子特性

郝杰, 李维勤, 钱钧

电子学报 ›› 2015, Vol. 43 ›› Issue (5) : 1028-1034.

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电子学报 ›› 2015, Vol. 43 ›› Issue (5) : 1028-1034. DOI: 10.3969/j.issn.0372-2112.2015.05.029
科研通信

具有埋层结构电介质样品扫描电镜二次电子特性

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Secondary Electron Characteristics of Dielectrics with Buried Structures in SEM

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