半导体生产线基于DBR和ANFIS相融合的动态调度方法研究

曹政才, 彭亚珍, 李博, 刘民

电子学报 ›› 2015, Vol. 43 ›› Issue (10) : 2082-2087.

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电子学报 ›› 2015, Vol. 43 ›› Issue (10) : 2082-2087. DOI: 10.3969/j.issn.0372-2112.2015.10.030
学术论文

半导体生产线基于DBR和ANFIS相融合的动态调度方法研究

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A DBR and ANFIS Integrated Dynamic Scheduling Algorithm for Semiconductor Wafer Fabrication

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