基于MEMS技术的智能传感器系统(“智能灰尘”)

张紫辰, 董恺琛, 张益源, 王建中, 赵嘉昊, 尤政

电子学报 ›› 2015, Vol. 43 ›› Issue (10) : 2095-2109.

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电子学报 ›› 2015, Vol. 43 ›› Issue (10) : 2095-2109. DOI: 10.3969/j.issn.0372-2112.2015.10.032
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基于MEMS技术的智能传感器系统(“智能灰尘”)

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MEMS-Based Smart Sensing System ("Smart Dust")

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