新型电容式MEMS加速度计数字接口电路设计

李宗伟, 丛宁, 熊兴崟, 韩可都, 杨长春

电子学报 ›› 2016, Vol. 44 ›› Issue (10) : 2507-2513.

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电子学报 ›› 2016, Vol. 44 ›› Issue (10) : 2507-2513. DOI: 10.3969/j.issn.0372-2112.2016.10.032
学术论文

新型电容式MEMS加速度计数字接口电路设计

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A New Type Capacitive MEMS Accelerometer Digital Interface Circuit Design

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