具有L型栅极场板的双槽双栅绝缘体上硅器件新结构

代红丽, 赵红东, 王洛欣, 石艳梅, 李明吉

电子学报 ›› 2018, Vol. 46 ›› Issue (5) : 1146-1152.

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电子学报 ›› 2018, Vol. 46 ›› Issue (5) : 1146-1152. DOI: 10.3969/j.issn.0372-2112.2018.05.019
学术论文

具有L型栅极场板的双槽双栅绝缘体上硅器件新结构

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A Dual-Trench-Gate Silicon on Insulator Device with a L-shaped Gate Field Plate

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