场发射阵列中聚焦电极制备的自对准技术

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电子学报 ›› 2000, Vol. 28 ›› Issue (12) : 29-30.

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场发射阵列中聚焦电极制备的自对准技术

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Self-adjustment Technique in Fabricating FFEA

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{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}, 2000, 28(12): 29-30.

{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. Acta Electronica Sinica, 2000, 28(12): 29-30.

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