多重嵌套悬臂梁结构磁致动微机械偏转器

胡明;B.Shen;W.Allegretto;A.M.Robinson

电子学报 ›› 2000, Vol. 28 ›› Issue (2) : 122-123.

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多重嵌套悬臂梁结构磁致动微机械偏转器

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Megnetically Actuated Micromachined Deflector with Structure of Multiple Nested Cantilevers

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