TDDB击穿特性评估薄介质层质量

胡恒升;张敏;林立谨

电子学报 ›› 2000, Vol. 28 ›› Issue (5) : 80-83.

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TDDB击穿特性评估薄介质层质量

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Quality Evaluation of Thin Dielectric Film by TDDB Measurements

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