功能成品率估算的缺陷特征参数提取方法

郝 跃;马佩军;张卫东;赵天绪

电子学报 ›› 2000, Vol. 28 ›› Issue (8) : 76-78.

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功能成品率估算的缺陷特征参数提取方法

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The Method of Defect Model Parameter Extraction for IC Functional Yield Estimation

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