衬底热电子增强的薄SiO<sub>2</sub>层击穿特性研究

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电子学报 ›› 2001, Vol. 29 ›› Issue (11) : 1468-1470.

论文

衬底热电子增强的薄SiO₂层击穿特性研究

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Study of Substrate Hot Electron Enhanced Breakdown Characteristics of Thin SiO₂

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国家九五国防预研项目(No.8.5.4.3)

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