共面微波探针在片测试技术研究

孙 伟;田小建;何炜瑜;张大明;李德辉;衣茂斌

电子学报 ›› 2001, Vol. 29 ›› Issue (2) : 222-224.

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共面微波探针在片测试技术研究

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On-Wafer Measurement Techniques Using Coplanar Microwave Probe

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