低温SiGe/SiHBT的研制及性能分析

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电子学报 ›› 2001, Vol. 29 ›› Issue (2) : 285-286.

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Fabrication and Characterization of SiGe/Si HBT Operating at Low Temperature

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{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. Acta Electronica Sinica, 2001, 29(2): 285-286.

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国家"863"计划(No.863-307-15-4(06));国家973项目(No.G20000683-02);国家自然科学基金(No.69876004);国家自然科学基金重大项目(No.69896260-06);北京市科委高技术重点项目和北京市自然科学基金(No.4962005)

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