室温工作双敏感膜HSGFET型O<sub>3</sub>传感器的研究

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电子学报 ›› 2001, Vol. 29 ›› Issue (5) : 604-606.

论文

室温工作双敏感膜HSGFET型O₃传感器的研究

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HSGFET Ozone Sensor with Dual Sensitive Layer Operating at Room Temperature

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{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. Acta Electronica Sinica, 2001, 29(5): 604-606.

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国家自然科学基金(No.69876023);天津市重点自然科学基金(No.993800611)

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