微分代数方法在静电电子透镜任意高阶像差分析中的应用

程 敏;唐天同;姚振华

电子学报 ›› 2002, Vol. 30 ›› Issue (12) : 1800-1803.

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微分代数方法在静电电子透镜任意高阶像差分析中的应用

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Differential Algebraic Method for Arbitrary High Order Aberration Analysis of Electrostatic Electron Lens Systems

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