微机械光调制器的制备及其在不同激励条件下的响应研究

茅惠兵;忻佩胜;柯菁华;赖宗声

电子学报 ›› 2002, Vol. 30 ›› Issue (2) : 262-265.

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微机械光调制器的制备及其在不同激励条件下的响应研究

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Response Study of the Micromechanical Modulator under Different Drive Conditions

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