离子束辅助沉积碳膜抑制栅电子发射研究

柳襄怀;任琮欣;江炳尧;朱 宏;刘炎源;刘静贤

电子学报 ›› 2002, Vol. 30 ›› Issue (5) : 661-663.

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离子束辅助沉积碳膜抑制栅电子发射研究

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Electron Emission Suppression Characteristics of Molybdenum-Grid Coated with Carbon Film by Ion Beam Assisted Deposition

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本项研究获得〈863〉国家高技术研究计划基金(No.715-008-0011);〈973〉重大项目基金研究基金(No.G2000067207-2)
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